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      產品詳情
      • 產品名稱:三溫區CVD氣相沉積系統

      • 產品型號:
      • 產品廠商:泰諾
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗
      詳情介紹:

      ○ 產品介紹

      該三溫區CVD氣相沉積系統主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


      ○ 適用范圍

      主要用于真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。


      ○ 產品特點

      1、造型優美 做工精細;
      2、測溫精準 控溫穩定;
      3、超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃;
      4、產品豐富 有多種型號供您選擇。


      ○ 技術參數

      加熱溫度

      三溫區 獨立控溫

      密封方式

      水冷式真空法蘭

      溫區長度

      L:190mm;M:250mm;R:190mm;

      真空系統

      防返油式雙極旋片泵

      工作溫度

      L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;

      系統真空

      5~10Pa(如需更高真空度可選配其它泵)

      加熱爐管

      高純剛玉外徑60mm,長度1300mm

      制冷方式

      9L水冷機

      氣體通道

      三通道質量流量計

      控溫系統

      多段可編程智能控溫,控溫精度±1℃

      氣體量程

      A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM

      供電電源

      AC:220V 50Hz

      真空檢測

      進口數字真空計 

      備   注

      如有其它要求 可按要求定制


      ○ 免責聲明

      本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。泰諾公司產品在不斷更新,網站內容可能由于更新不及時,或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。

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