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      產品詳情
      • 產品名稱:5L等離子清洗機電容耦合

      • 產品型號:
      • 產品廠商:其它品牌
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      等離子清洗機(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果,
      詳情介紹:

      等離子清洗機(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、涂覆等目的

      5L等離子清洗機 電容耦特點:

      腔體可利用面積大,起輝均勻,可清洗6英寸硅片。

      5L等離子清洗機電容耦合技術參數:

      主要部件

      指標名稱

      參數指標

      清洗倉體

      清洗倉材質

      SS304

      清洗倉尺寸

      200x160x240mm

      耦合方式

      電容耦合

      電源特性

      該電源為全固態射頻電源,采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件,使產品的可靠性得以保證。

      電源優勢

      ●可長時間正常運行
      ● 操作簡單靈活

      ● 電源效率高、發熱少
      ● 具有完善的反射功率保護功能

      射頻功率

      0~300W連續可調

      信號頻率

      13.56MHz ±0.005%

      反射功率

      100W

      功率穩定度

      ±0.1%

      射頻接頭

      N型頭

      整機效率

      75%

      諧波分量

      -50 dBc

      冷卻方式

      強制風冷

      測量部件

      兩路質量流量計 Ar 0~200sccm; O2 0~200sccm 可定制

      其他參數參考之前的產品

      氣體通道

      兩通道

      A通道量程

      10100ml

      B通道量程

      16160ml

      真空測量

      數字真空計(電阻規)

      真空抽取

      雙極旋片泵

      電機轉速

      50Hz時為:1440;60Hz時為:1720。

      抽氣速率

      50Hz時為:240L/Min;60Hz時為:288L/Min。

      真空量程

      0.1Pa10000Pa

      極限真空

      0.5Pa

      電機噪音

      56dB

      管道接口

      進氣口:KF16;排氣口KF16.

      連接管道

      KF16真空波紋管

      真空閥門

      KF16球閥

      電機功率

      400W

      供電電源

      AC220V 50/60Hz

      整機功率

      800W

      使用溫度

      -10 -- 40

      工作真空

      40Pa

      整機尺寸

      600mmX650mmX560mm

      整機重量

      80kg(含包裝)


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